Посунься, ASML: Китай представив ключовий елемент для EUV-літографії

На Міжнародній промисловій виставці в Шанхаї компанія Langdao Silex представила прототип установки FlintNano LPP-OXXO. Ця розробка є джерелом екстремального ультрафіолетового (EUV) випромінювання, необхідного для EUV-літографії – технології, критичної для виготовлення сучасних мікросхем. За заявами компанії, розробка базується на незалежних дослідженнях, а частка компонентів китайського виробництва становить близько 90%.

Представлений прототип використовує технологію генерованої лазером плазми (LPP), що є аналогічним підходом до того, який застосовують лідери ринку. Технічні характеристики системи FlintNano LPP-OXXO включають потужність лазера у 1000 Вт, частоту повторення 1–20 кГц та коефіцієнт перетворення понад 2%. Потужність EUV-випромінювання заявлена на рівні 15 Вт або вище, а час безперервної роботи перевищує 100 годин. Розмір плазми становить 60 мкм, а стабільність енергії – близько 5%.

У Langdao Silex зазначають, що поточний рівень функціонування системи достатній для тестування кремнієвих пластин. За найбільш оптимістичними прогнозами компанії, до початку широкомасштабного комерційного виробництва може знадобитися від трьох до п'яти років. Це свідчить про значний часовий горизонт для доведення технології до ринкової зрілості.

Створення повноцінної установки EUV-літографії вимагає не лише джерела випромінювання, а й надточної оптики, систем для роботи з пластинами та складних технологій системної інтеграції. Наприклад, обладнання ASML для EUV-літографії складається з сотень тисяч компонентів, що постачаються приблизно 800 партнерами по всьому світу. Це підкреслює складність і багатокомпонентність виробництва таких систем.

Що це означає: Розробка власного джерела EUV-випромінювання в Китаї є кроком до зменшення залежності від іноземних технологій у сфері виробництва напівпровідників. Хоча до повноцінної комерціалізації ще далеко, це демонструє довгострокові інвестиції у розвиток місцевої високотехнологічної промисловості та може вплинути на глобальний ланцюг поставок у майбутньому.